Az LSI áramkörök fotolitográfiai technológiájának optikai problémái
Jogi megjegyzés: A kéziratos disszertációk csak a szerzői jogok maradéktalan tiszteletben tartásával használhatók, másolat kizárólag a szerző vagy jogutódja írásos engedélyével készíttethető.
Mentés helye:
| Szerző: | |
|---|---|
| Közreműködő(k): | |
| Formátum: | disszertáció |
| Nyelv: | magyar |
| Megjelenés: |
1981
|
| Tárgyszavak: | |
| Címkék: |
Új címke
A tételhez itt fűzhet saját címkét!
|
| Összegzés: | Jogi megjegyzés: A kéziratos disszertációk csak a szerzői jogok maradéktalan tiszteletben tartásával használhatók, másolat kizárólag a szerző vagy jogutódja írásos engedélyével készíttethető. |
|---|---|
| Megjegyzés: | Egyetemi doktori értekezés ; Eötvös Loránd Tudományegyetem (Budapest), 1981 |
| Fizikai leírás: | 106 fol. : részben foto ill. ; 30 cm + mell. (3 p.) |